蒸发源的制造方法

摘要

本发明涉及用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法。该蒸发源包括一个包含铝组分及一种或多种其它组分的靶和一个与靶相连的由热导率比靶好的材料组成的支承板。根据本发明，由粉末起始材料制得的支承板与溅射靶的粉末组分一起经挤压形成夹层式粉末部分然后成型。

主权项

1、用于物理气相沉积的蒸发源的制造方法，该蒸发源包括一个包含铝组分及一种或多种其它组分的靶和一个与靶相连的由热导率比靶好的材料组成的支承板，靶的制造是通过将粉末状个体组分的混合物冷压之后，在低于个体组分熔点的温度下在流动下成型，直至得到的密度至少为理论密度的98％，该方法的特征在于将同样由粉末状起始材料组成的支承板与靶组分一起挤压形成夹层式粉末部分，然后成型。