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发明名称 Method and apparatus to reduce effects of sheared wavefronts on interferometric phase measurements
摘要
申请公布号 AU2002345979(A1) 申请公布日期 2003.01.21
申请号 AU20020345979 申请日期 2002.06.27
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 HENRY A. HILL
分类号 G01B9/02;G03F7/20;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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