| 发明名称 |
Multi-axis interferometer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002320323(A1) |
申请公布日期 |
2003.01.21 |
| 申请号 |
AU20020320323 |
申请日期 |
2002.07.08 |
| 申请人 |
ZYGO CORPORATION |
发明人 |
PETER J. DE GROOT;ANDREW ERIC CARLSON;HENRY A. HILL |
| 分类号 |
G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02;G02B27/12 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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