METHOD FOR PRECISELY MACHINING MICROSTRUCTURE,申请号KR20027012137-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR PRECISELY MACHINING MICROSTRUCTURE
摘要
申请公布号	KR20030005227(A)	申请公布日期	2003.01.17
申请号	KR20027012137	申请日期	2002.09.16
申请人		发明人
分类号	H01L21/30;H01L21/308	主分类号	H01L21/30
代理机构		代理人
主权项
地址

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