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发明名称
NOVEL FLUOROPOLYMER HAVING ACID-REACTIVE GROUP AND CHEMICAL AMPLIFICATION TYPE PHOTORESIST COMPOSITION CONTAINING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20030005177(A)
申请公布日期
2003.01.17
申请号
KR20027009866
申请日期
2002.07.31
申请人
发明人
分类号
C08F20/22;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075
主分类号
C08F20/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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