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发明名称
摘要
申请公布号
KR200294166(Y1)
申请公布日期
2003.01.17
申请号
KR19970013105U
申请日期
1997.05.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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