Schaltungsanordnung und Verfahren zur Ermittlung einer Zeitkonstante eines Speicherkondensators einer Speicherzelle eines Halbleiterspeichers

摘要

Es wird ein Ringoszillator (55) bereitgestellt, der eine Vielzahl von Invertern (5, 20, 35) umfaßt. zwischen zwei Invertern ist eine Leiterbahn (50) angeordnet, an die ein zu messender Speicherkondensator (80) mit seinem zugehörigen Zuleitungswiderstand (85) mittels einer Leiterbahn (186) angekoppelt ist, beziehungsweise mittels eines Transistors (185) ankoppelbar, beziehungsweise abkoppelbar ist. Mittels einer mit dem Ringoszillator (55) verschalteten Meßeinrichtung (100) ist ein Wert für die Oszillationsfrequenz des Ringoszillators (55) ermittelbar, auf dessen Grundlage ein Wert für die Zeitkonstante des Speicherkondensators (80) ermittelbar ist.