| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abscheiden insbesondere kristalliner Schichten auf einem insbesondere kristallinen Substrat (1) mit einem hochfrequenzbeheizten Substrathalter (2) aus leitfähigem Material zur flächenaufliegenden Halterung des Substrates (1), welcher Substrathalter (2) eine Zone (3) höherer elektrischer Leitfähigkeit aufweist. Es ist vorgesehen, dass die höher elektrisch leitfähige Zone der Auflagefläche des Substrates (1) zugeordnet ist, wobei diese Zone im Wesentlichen der vom Substrat eingenommenen Fläche entspricht. Zufolge dieser Maßnahme wird die Zone, auf welcher das Substrat liegt, heißer, als die das Substrat umgebende Substratoberfläche. (Fig. 2)</p> |
