发明名称 Austauscheinrichtung für eine Trägerzuführeinrichtung
摘要 Die Austauscheinrichtung für eine Trägerzuführungseinrichtung zum Überführen und Austauschen einer Trägerplatte hat einen ersten Abstützrahmen (123) und einen zweiten Abstützrahmen (124), eine Führungsabstützeinrichtung (120), die einen Halterahmen (125) aufweist, der zwischen dem ersten und zweiten Abstützrahmen (123, 124) angeordnet ist, eine Vakuumerzeugungseinrichtung (160), die auf einer Seite des zweiten Abstützrahmens (124) angeordnet ist, eine Düsenabstützeinrichtung (110), die eine Verbindungseinrichtung (112) zum Übertragen einer Vakuumansaugkraft, indem sie mit der Vakuumerzeugungseinrichtung (160) verbunden ist, eine Vielzahl von Vakuumkissen (111a) zum Angreifen an der Trägerplatte (450) durch die Vakuumansaugkraft, die von der Verbindungseinrichtung (112) übertragen wird und eine Vielzahl von Anschlägen (111b) aufweist, die die Trägerplatte (450) halten können, einen Kopfblock (140), der mit einer Seite der Düsenabstützeinrichtung (110) verbunden ist, einen Führungsblock (150), der an einem zweiten Riemen (137) in einem mit dem Kopfblock (140) verbundenen Zustand angeordnet ist, wodurch die Düsenabstützeinrichtung (110) geführt werden kann, eine Transporteinrichtung (126) zum Transportieren des Führungsblocks (150) und eine Antriebseinrichtung (130) für die Transporteinrichtung (126).
申请公布号 DE10205568(A1) 申请公布日期 2003.01.16
申请号 DE20021005568 申请日期 2002.02.11
申请人 MIRAE CORP., CHUNAN 发明人 CHO, JAE HYUK;LEE, SANG WON;LEE, DONG SUH
分类号 H05K13/02;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H05K13/02 主分类号 H05K13/02
代理机构 代理人
主权项
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