| 发明名称 |
VERFAHREN UND SYSTEM ZUR ERHÖHUNG DER MENGE AN IN EINER FLÜSSIGKEIT GELÖSTEM GAS UND ZUR BEIBEHALTUNG DIESER ERHÖHTEN MENGE BIS ZUR VERWENDUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69805836(T2) |
申请公布日期 |
2003.01.16 |
| 申请号 |
DE1998605836T |
申请日期 |
1998.10.27 |
| 申请人 |
FSI INTERNATIONAL, INC. |
发明人 |
NELSON, L.;CHRISTENSON, K. |
| 分类号 |
B08B5/00;B01F3/04;B08B3/02;C02F1/78;(IPC1-7):C02F1/78 |
主分类号 |
B08B5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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