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发明名称 System and method for neutralizing an ion beam using water vapor
摘要
申请公布号 EP0893944(B1) 申请公布日期 2003.01.15
申请号 EP19980305258 申请日期 1998.07.02
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BENVENISTE, VICTOR MAURICE;SINCLAIR, FRANK;CHEN, JIONG
分类号 C23C14/48;H01J37/317;G21K1/14;H01J37/02;(IPC1-7):H05H3/02 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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