| 摘要 |
<p>Eine Druckmessvorrichtung mit Membranbruchüberwachung umfasst ein Gehäuse (10) mit einem Durchgang, dessen beiden Öffnungen an den Stirnseiten des Gehäuses (10) durch einen ersten Verformungskörper (121) und einen zweiten Verformungskörper (122) Verschlossen ist. Der Durchgang ist vollständig mit einer Übertragungsflüssigkeit gefüllt, um den Prozeßdruck vom ersten(121) zum zweiten Verformungskörper (122) zu übertragen. Die Vorrichtung umfasst Mittel (31, 32) zum Überwachen einer Materialeigenschaft der Übertragungsflüssigkeit. Eine Veränderung der Materialeigenschaft indiziert eine Kontamination durch das Prozeßmedium und somit einen Bruch des ersten Verformungskörpers. Die überwachte Materialeigenschaft ist vorzugsweise die relative Dielektrizitätskonstante. <IMAGE></p> |
