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发明名称 Steam generator
摘要
申请公布号 EP1134493(A3) 申请公布日期 2003.01.15
申请号 EP20010104617 申请日期 2001.02.23
申请人 SANYO ELECTRIC CO., LTD.;SHIN-ETSU CHEMICAL COMPANY, LTD.;SHIN-ETSU ENGINEERING CO., LTD. 发明人 USHIJIMA, KAZUFUMI;MAKIKAWA, SHINJI;OHNODA, TADATOMO
分类号 H05B6/68;F22B1/28;H01L21/31;H05B6/64;H05B6/70;H05B6/80;(IPC1-7):F22B1/28 主分类号 H05B6/68
代理机构 代理人
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