一种用于热释电薄膜材料的热释电系数测量装置及方法

摘要

发明公开了一种用于热释电薄膜材料热释电系数的测量装置及方法。其特征在于：本发明利用了电压法中以正弦函数周期调制样品温度的方法和电流法中利用通用仪器直接测量热释电电流的优点及数字化低频锁相放大器的应用技术，设计一套简便易行的高灵敏度热释电薄膜材料的热释电系数测量装置及方法。测量装置包括：样品台，控制样品台温度的控温电源，温度传感器，恒流源，测量样品的热释电电流的静电计及锁相放大器。本发明的测量装置最大优点是结构简单，数据处理简便，所得信号由锁相放大器处理，测量灵敏度可提高1－2个量级。

主权项

1.一种用于热释电薄膜材料热释电系数测量装置，包括：样品台(1)，控制样品台温度的控温电源(2)，测量样品温度的温度传感器(3)，供给温度传感器的恒流源(5)，测量样品的热释电电流的静电计(4)以及锁相放大器6，其特征在于：所说的样品台(1)由一导热性能良好的金属块制成，其下面有一个用于控制样品台的平衡点温度的半导体制冷器件(101)和另一个控制样品台的周期性变化温度的半导体制冷器件(102)，二个制冷器件叠加而成，其中制冷器件(102)紧贴金属块下面；所说的控温电源(2)由直流电源(201)和交流电源(202)两个电源组成，直流电源供给半导体制冷器件(101)；交流电源由低频发生器和功率放大器构成，其核心元件分别为ICL8038CCPD和LM1875T，供给半导体制冷器件(102)，电源电流输出范围为0-2安培，平衡点温度控温精度为0.2℃；