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发明名称 Method for stabilizing output of higher harmonic waves and short wavelength laser beam source using the same
摘要
申请公布号 EP0703649(B1) 申请公布日期 2003.01.15
申请号 EP19950114232 申请日期 1995.09.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 YAMAMOTO, KAZUHISA;MIZUUCHI, KIMINORI;KITAOKA, YASUO;KATO, MAKOTO
分类号 G02F1/35;H01S3/109;H01S5/026;H01S5/06;H01S5/0625;H01S5/0687;H01S5/14;H01S5/50;(IPC1-7):H01S3/00;H01S5/068;G02F1/37;H01S5/10 主分类号 G02F1/35
代理机构 代理人
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