| 发明名称 |
DEVICE FOR ROTATING A SUBSTRATE TO BE COATED WITH CERAMIC AND METALLIC SUBSTANCES IN A PROCESS CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1198613(B1) |
申请公布日期 |
2003.01.15 |
| 申请号 |
EP20000935126 |
申请日期 |
2000.05.26 |
| 申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH |
发明人 |
RATZEL, FRITZ |
| 分类号 |
C23C14/50;(IPC1-7):C23C16/458 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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