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发明名称 CLEANING OF A PLASMA PROCESSING SYSTEM SILICON ROOF
摘要
申请公布号 EP1274876(A2) 申请公布日期 2003.01.15
申请号 EP20010923089 申请日期 2001.04.02
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SUN, JENNIFER, Y.;FANG, HO, TONG;TAN, SAMANTHA, S., H.
分类号 C23C16/44;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44;B08B7/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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