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发明名称 SYSTEM FOR INSPECTING THE SURFACES OF OBJECTS
摘要
申请公布号 EP1274987(A1) 申请公布日期 2003.01.15
申请号 EP20010931443 申请日期 2001.04.12
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GERHARD, DETLEF;LECHNER, JOHANNES
分类号 G01N21/89;(IPC1-7):G01N21/88;G01N21/95 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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