METHOD AND APPARATUS FOR REDUCING CONTAMINATION IN A LOADLOCK,申请号KR20027012793-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR REDUCING CONTAMINATION IN A LOADLOCK
摘要
申请公布号	KR20030003703(A)	申请公布日期	2003.01.10
申请号	KR20027012793	申请日期	2002.09.27
申请人		发明人
分类号	H01L21/00;H01L21/324;C23C14/56;C23C16/44;H01L21/02	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
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