发明名称 SUBSTRATE CARRYING MECHANISM AND SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JP2003007794(A) 申请公布日期 2003.01.10
申请号 JP20020175089 申请日期 2002.06.14
申请人 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC 发明人 YONEMITSU SHUJI;KANO RIICHI;YOSHIDA HISASHI;WATABIKI SHINICHIRO;YOSHIDA YUJI;SHIMURA HIDEO;SUGIMOTO TAKESHI;YUYA YUKINORI;IKEDA KAZUTO
分类号 H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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