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发明名称 SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JP2003007795(A) 申请公布日期 2003.01.10
申请号 JP20010184856 申请日期 2001.06.19
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 SAKAI KOJI
分类号 B65G49/06;B05C9/14;B05C13/02;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
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