| 发明名称 |
SYSTEM ZUR PLASMABEHANDLUNG GROSSFLÄCHIGER SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69625068(D1) |
申请公布日期 |
2003.01.09 |
| 申请号 |
DE19966025068 |
申请日期 |
1996.07.02 |
| 申请人 |
SILICON GENESIS CORP., CAMPBELL |
发明人 |
CHAN, CHUNG |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/50;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/00;C23F1/02 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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