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发明名称 METHOD FOR CORRECTING PHYSICAL ERRORS IN MEASURING MICROSCOPIC OBJECTS
摘要
申请公布号 KR20030003228(A) 申请公布日期 2003.01.09
申请号 KR20027010194 申请日期 2002.08.08
申请人 发明人
分类号 G01B11/02;G02B21/00;G01B9/04;G01B15/00 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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