Alternating phase mask,申请号US20020158733-传众专利搜索

发明名称	Alternating phase mask
摘要
申请公布号	US2003008218(A1)	申请公布日期	2003.01.09
申请号	US20020158733	申请日期	2002.05.30
申请人	FRIEDRICH CHRISTOPH;GRIESINGER UWE;HEISSMEIER MICHAEL;LUDWIG BURKHARD;MOUKARA MOLELA;PFORR RAINER	发明人	FRIEDRICH CHRISTOPH;GRIESINGER UWE;HEISSMEIER MICHAEL;LUDWIG BURKHARD;MOUKARA MOLELA;PFORR RAINER
分类号	G03F1/00;H01L21/027;(IPC1-7):G03C5/00;G03F9/00	主分类号	G03F1/00
代理机构		代理人
主权项
地址