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发明名称 Verfahren zur Dielektrikum-Entfernung
摘要
申请公布号 DE69332515(D1) 申请公布日期 2003.01.09
申请号 DE19936032515 申请日期 1993.07.01
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 FULFORD, JR.;GARDNER, MARK I.
分类号 H01L21/306;H01L21/311;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/76 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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