| 摘要 |
<p>Beschrieben wird ein Artikel, umfassend ein Substrat, und eine flächig mit dem Substrat verbundene plasmapolymere, Silizium, Sauerstoff und Kohlenstoff umfassende Beschichtung, für die bei Bestimmung mittels ESCA gilt: das Stoffmengenverhältnis O : Si ist > 1,25 und < 2,6 und das Stoffmengenverhältnis C : Si ist > 0,6 und < 2,2 gemäss einer bevorzugten Ausgestaltung enthält die Beschichtung bezogen auf ihre Gesamtatomzahl ohne Wasserstoff und/oder Fluor: minimal 22 und maximal 27 Atomprozente Si, minimal 25 und maximal 50 Atomprozente O, und minimal 25 und maximal 50 Atomprozente C.</p> |
