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发明名称 VORLÄUFERVERBINDUNGEN FÜR WACHSTUM VON HETEREOMETALLLOXIDSCHICHTEN DURCH MOCVD
摘要
申请公布号 DE69904177(D1) 申请公布日期 2003.01.09
申请号 DE19996004177 申请日期 1999.06.29
申请人 QINETIQ LTD., LONDON 发明人 LEEDHAM, JOHN;WRIGHT, JOHN;CROSBIE, JOHN;JONES, COPELAND
分类号 C07C217/06;C07C31/28;C07F7/00;C07F9/00;C23C16/40;C23C18/12;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C07F9/00 主分类号 C07C217/06
代理机构 代理人
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