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Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Differenzdrucksensor in Glas-Silizium-Technik mit einer Membranplatte (2) aus Silizium, die zwischen zwei aus Glas bestehenden Trägerplatten (3, 4) angeordnet ist. Die Membranplatte (2) weist druckempfindlich auslenkbare Bereiche (22, 24) auf, die jeweils mit einer Kondensatoranordnung (121 bis 124, 141 bis 144) ausgestattet sind. Die Kondensatoranordnung (121 bis 124, 141 bis 144) ist über Verbindungsleiter mit einer Messwertverarbeitungseinrichtung verbunden. Zur Verbesserung des Verhältnisses der Messkapazitäten zu den durch die Verbindungsleiter bewirkten Störkapazitäten wird vorgeschlagen, dass die Membranplatte (2) außerhalb des druckempfindlich auslenkbaren Bereichs (22, 24) das Substrat einer elektronischen Schaltung (6) ist, die mindestens eine Eingangsstufe der Messwertverarbeitungseinrichtung umfasst.
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