| 发明名称 |
Apparatus for fabricating semiconductor structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002232843(A1) |
申请公布日期 |
2003.01.08 |
| 申请号 |
AU20020232843 |
申请日期 |
2001.12.20 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
SCOTT T. MASSIE;RAVINDRANATH DROOPAD |
| 分类号 |
C30B23/02;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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