发明名称 铜或铜合金的腐蚀剂及腐蚀方法
摘要 本发明提供一种铜或铜合金的腐蚀剂,由含有羟胺、氧化剂、铵盐和唑化合物的水溶液组成。可以在温和的条件下使铜表面变得平滑。
申请公布号 CN1389596A 申请公布日期 2003.01.08
申请号 CN02122250.9 申请日期 2002.06.03
申请人 美格株式会社 发明人 小野秀一郎;中村幸子
分类号 C23F1/34 主分类号 C23F1/34
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 戈泊;程伟
主权项 1.一种铜或铜合金的腐蚀剂,其特征在于:由含有羟胺、氧化剂、铵盐和唑化合物的水溶液组成。
地址 日本兵库县