滤光器的受控应力热补偿

摘要

一种温度补偿滤光器组件,它包括具有依赖于温度的折射率的多个薄膜,所述薄膜配置在玻璃基底上,以形成传统的干涉滤光器。玻璃基底粘结到金属支持物,使得配置的薄膜干涉滤光器介于玻璃基底和沿支持物装配面分配的粘合剂层之间。因此,玻璃基底向干涉滤光器的内层施加第一热失配应力,支持物向干涉滤光器的外层施加第二失配应力,其中第一和第二失配应力依赖于滤光器组件的温度。以具有机械特性的材料较佳地形成玻璃基底、粘合剂和支持物,使得第一和第二失配应力补偿依赖于温度的薄膜折射率的影响,以响应温度变化保持滤光器组件统一的光谱性能。在一个实施例中,在形成期间,用电/磁致伸缩预加应力薄膜叠层获得附加的自由度。在另一实施例中,使用有源应力管理系统。

主权项

1.一种光学装置，其特征在于，它包括：透光基底；支持物；蒸镀在基底表面上并与支持物表面接合的干涉滤光器，其中基底和支持物具有不同的热膨胀系数，选择该系数，在一温度范围上向滤光器施加补偿应力。