发明名称 Procedure to detect an object using different resolutions
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und ein Mikroskop zur Detektion eines Objekts, mit einer das Objekt beleuchtenden Lichtquelle und einem das Objekt auf einen Detektor abbildenden Abbildungssystem. Zur Erhöhung des effektiven Auflösungsvermögens des Abbildungssystems, das über die Grenze des von den Eigenschaften des Abbildungssystems festgelegten Auflösungsvermögen hinausgeht, ist das erfindungsgemäße Verfahren und das erfindungsgemäße Mikroskop zur Detektion eines Objekts dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt mehrmals mit jeweils unterschiedlicher Auflösung des Abbildungssystems delektiert wird und dass zur Bestimmung eines optimierten Auflösungsvermögens die detektierten Bilddaten einer statistischen und/oder numerischen Auswertung zugeführt werden. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP1273878(A2) 申请公布日期 2003.01.08
申请号 EP20020100757 申请日期 2002.06.27
申请人 LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH 发明人 RINN, KLAUS, DR.
分类号 G02B21/00;G01B11/02;G02B21/36;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
主权项
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