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发明名称 CONSTANT TEMPERATURE GRADIENT DIFFERENTIAL THERMAL MASS FLOW SENSOR
摘要
申请公布号 EP1272819(A1) 申请公布日期 2003.01.08
申请号 EP20010922794 申请日期 2001.03.28
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 MAGINNIS, THOMAS, O., JR.
分类号 G01F1/684;G01F5/00;(IPC1-7):G01F1/68 主分类号 G01F1/684
代理机构 代理人
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