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发明名称 Spacer etch mask for sonos memory
摘要
申请公布号 AU2002230969(A1) 申请公布日期 2003.01.08
申请号 AU20020230969 申请日期 2001.12.14
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 JANET WANG;TUAN PHAM;MARK RANDOLPH;MARK T. RAMSBEY;ANGELA HUI;RAVI SUNKAVALLI;NARBEH DERHACOBIAN
分类号 H01L21/8246;H01L27/105;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
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