用于抛光工具的承载头，抛光工具和抛光物体的方法

摘要

一种用于抛光系统的夹持薄片等物体的承载头，在抛光过程中该承载头能够旋转。这样的承载头包括一个传感器，它确定可移动卡盘和固定驱动机构的相对取向(或者它们之间的角度)。控制系统使用测量值选择施加给薄片或者卡盘的边缘压力，来控制薄片抵靠在抛光垫上的倾角。将薄片连接柔性气囊，给薄片施以用于抛光的均匀压力。

主权项

1.一种用于抛光工具的承载头，包括：一个驱动机构；一个卡盘，它可移动地安装在驱动盘上，该卡盘包括一个用于被抛光物体的夹持器；一个或者多个促动器，该促动器与卡盘接触，其中促动器控制卡盘相对于驱动机构的取向；和一个传感器系统，用于检测卡盘的取向。