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经营范围
发明名称
Ceramic evaporator
摘要
申请公布号
EP1103629(B1)
申请公布日期
2003.01.08
申请号
EP20000123302
申请日期
2000.10.26
申请人
WACKER-CHEMIE GMBH
发明人
SEIFERT, MARTIN;URBAT, HANS-WERNER
分类号
C23C14/24;H01J9/20;C23C14/26;(IPC1-7):C23C14/24
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
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