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发明名称
摘要
申请公布号	JP3362693(B2)	申请公布日期	2003.01.07
申请号	JP19990065667	申请日期	1999.03.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;G03F7/20;G03F7/23;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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