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发明名称
摘要
申请公布号
JP2003500853(A)
申请公布日期
2003.01.07
申请号
JP20000620659
申请日期
2000.05.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/336;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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