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发明名称 METHOD FOR TREATING EXHAUST GAS CONTAINING FLUORINE-CONTAINING COMPOUND
摘要
申请公布号 KR20030001414(A) 申请公布日期 2003.01.06
申请号 KR20027013638 申请日期 2002.10.11
申请人 发明人
分类号 B01D53/68;B01D53/86;B01D53/77;B01J21/04;H01L21/205;H01L21/302 主分类号 B01D53/68
代理机构 代理人
主权项
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