CIRCUIT CARRIER WITH A FIDUCIAL, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF AND QUALITY INSPECTION METHOD

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Schaltungsträger mit einem Substrat, mindestens einer Leiterbahnebene, in der wenigstens eine Leiterbahn und mindestens eine Anschlussfläche ausgebildet sind, wenigstens einer die Leiterbahnebene bedeckenden Isolierschicht, in der mindestens eine Kontaktöffnung für die Anschlussfläche vorgesehen ist, sowie mindestens einem Fiducial zur Bestimmung einer Position des Schaltungsträgers bei der automatischen Bearbeitung desselben. Um einen Schaltungsträger anzugeben, bei dem die Positionsbestimmung desselben auf besonders einfache und effiziente Weise erfolgt und auch bei höheren Toleranzgrenzen bezüglich des Lagenversatzes hohe Ausbeute und Zuverlässigkeit bei der Bearbeitung des Schaltungsträgers gewährleistet werden kann, weist das Fiducial eine erste Fiducial-Struktur auf, die durch eine Öffnung in der Isolierschicht gebildet ist, und eine erste Fiducial-Struktur, die in der Leiterbahnebene ausgebildet ist, wobei die Schnittmenge der Flächen der beiden Fiducial-Strukturen die Position des Schaltungsträgers definiert. Die Erfindung bezieht sich ausserdem auf ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Schaltungsträgers und ein Verfahren zu dessen Qualitätsprüfung.