| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung beschreibt Verfahren zum lokalen laserinduzierten Ätzen von Feststoffen, welches umfasst, dass eine Oberfläche eines Feststoffs, welche mit einer fluororganischen Verbindung in flüssiger oder überkritischer Phase in Berührung gehalten wird, mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, so dass die Oberfläche mit dem Laserstrahl geätzt wird.</p> |
