| 发明名称 |
Film formation method, semiconductor element and method thereof, and method of manufacturing a disk-shaped storage medium |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1150168(A3) |
申请公布日期 |
2003.01.02 |
| 申请号 |
EP20010110055 |
申请日期 |
2001.04.27 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
ITO, SHINICHI;OKUMURA, KATSUYA |
| 分类号 |
B05D1/00;G03F7/16;G11B5/842;G11B7/26;H01L21/027;H01L21/312;H01L21/316;(IPC1-7):G03F7/16;H01L21/00 |
主分类号 |
B05D1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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