| 发明名称 |
CHAMBER FOR CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1192294(B1) |
申请公布日期 |
2003.01.02 |
| 申请号 |
EP20000912321 |
申请日期 |
2000.04.04 |
| 申请人 |
UNAXIS TRADING AG |
发明人 |
BUSCHBECK, MARTIN;SCHOLLER, JOHANN |
| 分类号 |
C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/44;C30B25/14 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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