| 发明名称 |
Verfahren zum lokalen Ätzen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10053198(C2) |
申请公布日期 |
2003.01.02 |
| 申请号 |
DE20001053198 |
申请日期 |
2000.10.26 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
ADLER, FRANK;ANGENENDT, GUIDO |
| 分类号 |
C23F1/02;C23F1/08;H01L21/00;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C23F1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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