| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Auslesen eines Detektionschips einer elektronischen Kamera in einem Koordinaten-Messgerät zur Positionsbestimmung einer Kante einer Struktur auf einem Substrat, mit mindestens zwei den Detektionschip auslesenden Digitalisierungseinrichtungen, denen jeweils einzelne Pixel des Detektionschips zugeordnet sind, wobei zur Extraktion von charakteristischen Messparametern die von den Digitalisierungseinrichtungen ausgelesenen digitalisierten Daten einer Datenreduktion unterzogen werden. Mit dem Verfahren sollen die Bilddaten einer großformatigen Kamera auch bei einer hohen Ausleserate mit der Rechenleistung im Wesentlichen eines schnellen Personalcomputers abgeglichen und gegebenenfalls charakteristische Messparameter extrahiert werden können. Das erfindungsgemäße Verfahren zum Auslesen eines Detektionschips einer Kamera ist dadurch gekennzeichnet, dass ein Abgleich der reduzierten digitalisierten Daten der unterschiedlichen Digitalisierungseinrichtungen mit einer Korrekturfunktion erfolgt.
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