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发明名称 WAFER ORIENTATION SENSOR FOR GaAs WAFERS
摘要
申请公布号 EP1269521(A1) 申请公布日期 2003.01.02
申请号 EP20010923072 申请日期 2001.04.02
申请人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. 发明人 VAN DER MUEHLEN, HAJO;MOUTTET, PETER, BRUNO;BOCHE, BERNHARD
分类号 C23C14/56;H01L21/265;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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