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发明名称 SUPPLYING AND EXHAUSTING SYSTEM IN PLASMA POLYMERIZING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1268879(A1) 申请公布日期 2003.01.02
申请号 EP20010910189 申请日期 2001.03.02
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 JEONG, YOUNG-MAN;LEE, SU-WON;YOUN, DONG-SIK
分类号 B05D3/04;B05D7/24;C08F2/46;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/54 主分类号 B05D3/04
代理机构 代理人
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