摘要 |
Es wird eine Positionsmesseinrichtung sowie ein Verfahren zum Betrieb dieser Positionsmesseinrichtung angegeben. Die Positionsmesseinrichtung umfasst einen Maßstab (10) sowie eine bewegliche Abtasteinheit (20). Auf dem Maßstab ist mindestens eine erste und eine zweite Spur (12,13) angeordnet, aus deren Abtastung ein erstes und ein zweites positionsabhängiges Abtastsignal erzeugbar ist. Die aus den unterschiedlichen Spuren erzeugten Abtastsignale weisen im Fall einer Nick-Kippung der Abtasteinheit oder des Maßstabes um eine Achse, die parallel zur Maßstabebene orientiert ist, ein unterschiedliches Nick-Verhalten dahingehend auf, dass das erste Abtastsignal dann eine fehlerhafte Position angibt, während das zweite Abtastsignal weiterhin eine korrekte Position angibt. Die Abtasteinheit ist derart ausgebildet, dass aus einer der beiden Spuren ein drittes Abtastsignal erzeugbar ist, welches ein unterschiedliches Nick-Verhalten wie das andere Abtastsignal aus dieser Spur aufweist. Aus dem Vergleich des dritten Abtastsignales mit dem Abtastsignal aus der gleichen Spur lässt sich das Vorliegen einer eventuellen Nick-Bewegung detektieren <IMAGE>
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