| 主权项 |
1.一种单结晶拉起装置,系具有:支持器旋转机构,令用以在熔融结晶保持用的坩埚上方支持种晶之种晶支持器以其拉起方向为轴而旋转;种晶拉起机构,藉在控制速度下拉起前述种晶支持器以将前述种晶拉起;支持台,作为藉将形成于前述种晶下方的径扩大部从下方支持并载置以保持前述径扩大部的盘状构件;滑车机构,令前述支持台旋转,依其旋转角度使单结晶的蜂腰及/或径扩大部的下端在下方不支持位置和下方支持位置间移动;滑车旋转机构,令前述滑车机构旋转以在前述2位置间令前述支持台移动;滑车拉起机构,藉在控制速度下拉起前述滑车机构以将支持台拉起;以及旋转机构,令前述滑车旋转机构和前述滑车拉起机构以前述种晶拉起方向为轴而旋转。2.一种单结晶拉起装置,系具有:支持器旋转机构,令用以在熔融结晶保持用的坩埚上方支持种晶之种晶支持器以其拉起方向为轴而旋转;种晶拉起机构,藉在控制速度下拉起前述种晶支持器以将前述种晶拉起;支持台,为将形成于前述种晶下方的径扩大部下方之单结晶的蜂腰及/或前述径扩大部的下方从下方支持,具有前述蜂腰通过用之贯通孔,且为将前述蜂腰导入前述贯通孔而设有使前述贯通孔连通外周部之狭缝;滑车机构,依其旋转角度前述支持台会使前述单结晶的蜂腰及/或前述径扩大部的下端在下方不支持位置和下方支持位置间移动;滑车旋转机构,令前述滑车机构旋转并控制其旋转角度位置;滑车拉起机构,能和前述种晶支持器一起旋转,藉在控制速度下拉起前述滑车机构以将前述支持台拉起而令单结晶成长;以及旋转机构,令前述滑车旋转机构和前述滑车拉起机构以前述种晶拉起方向为轴而旋转。3.如申请专利范围第1或2项之单结晶拉起装置,其中,前述滑车机构是以从两侧夹住前述支持台的形式而设置之2个平行配置的滑车。4.如申请专利范围第1或2项之单结晶拉起装置,其中,前述滑车驱动机构及前述滑车拉起机构系具有能将分别安装在前述滑车机构的2条钢丝的两端卷起之2个卷起机构。5.如申请专利范围第4项之单结晶拉起装置,其中,用以驱动前述2个卷起机构的驱动源是分开设置。6.如申请专利范围第4项之单结晶拉起装置,其中,用以驱动前述2个卷起机构的驱动源是单一,其构成是令前述滑车机构旋转后拉起前述滑车机构。7.如申请专利范围第1或2项之单结晶拉起装置,其中,前述滑车拉起机构系具有能将各别安装在前述滑车机构上的2条钢丝的两端卷起之单一卷起机构。8.如申请专利范围第4项之单结晶拉起装置,其中,驱动前述2个卷起机构的驱动源是单一,前述2个卷起机构是靠齿轮结合且能同步旋转。9.如申请专利范围第7项之单结晶拉起装置,其中,前述滑车驱动机构系具有令前述2条钢丝的一部份同时朝水平方向移动之直线移动机构。10.如申请专利范围第9项之单结晶拉起装置,其中,前述直线移动机构系具有分别挂着前述2条钢丝、能在水平方向移动、能旋转的2个移动滑轮。11.如申请专利范围第10项之单结晶拉起装置,其中,前述直线移动机构更具有能将前述2条钢丝分别引导到前述移动滑轮上的至少2个固定滑轮。12.如申请专利范围第1或2项之单结晶拉起装置,其中,前述滑车机构更具有平衡块,而使藉前述支持台之前述滑车机构和前述支持台全体的重心位置不会因前述滑车机构的旋转而移动很大。13.如申请专利范围第1或2项之单结晶拉起装置,其中,前述滑车机构是构成以垂直于前述种晶拉起方向的轴为中心而旋转。14.如申请专利范围第1或2项之单结晶拉起装置,其中,为使前述滑车机构的重心位置不因其旋转而变化,系具有相对于前述支持台之配重块。15.一种单结晶拉起方法,系使用申请专利范围第1或2项之单结晶拉起装置的单结晶拉起方法,系具有:藉前述种晶拉起机构拉起前述种晶,藉控制速度而形成径扩大部的步骤;藉前述滑车旋转机构令前述支持台旋转,使其位于前述径扩大部下方的步骤;拉起前述滑车拉起机构的步骤;测定前述种晶拉起机构的荷重,检出测定荷重已到既定値的步骤;以及前述测定荷重到达既定値时,中止藉前述种晶拉起装置而使单结晶成长的速度控制,开始藉前述滑车拉起机构以使单结晶成长的速度控制之步骤。图式简单说明:图1,是将有关本发明的单结晶拉起装置的第1实施形态以模式显示的部份剖面图。图2,是显示图1中的滑车机构和装在滑车机构上的盘状构件的俯视图。图3,是图1中的滑车机构的前视图。图4,是图1中的滑车机构的侧面图。图5,是图1中的滑车机构在第1的位置(非支持状态)时的侧面图。图6,是图5中之A-A'线剖面图。图7,是图1中的滑车机构在第2的位置(非支持状态)时的侧面图。图8,是图7中的A-A'线剖面图。图9,是将有关本发明的单结晶拉起装置的第2实施形态以模式显示的部份剖面图。图10,是图9中的A-A'线剖面图。图11,是将有关本发明的单结晶拉起装置的第3实施形态以模式显示的部份剖面图。 |
