| 发明名称 | 有放射线敏感性的折射率变化性组合物及折射率变化法 | ||
| 摘要 | 一种含有(A)分解性化合物、(B)折射率比分解性化合物(A)低的非分解性化合物、(C)感放射线分解剂及(D)稳定化剂的有放射线敏感性的折射率变化性组合物。通过使图案掩模介于中间,对该组合物照射放射线,使得放射线照射部分的上述(C)成分和(A)成分分解,在放射线照射部分与放射线未照射部分之间产生折射率之差,形成折射率不同的图案。 | ||
| 申请公布号 | CN1388919A | 申请公布日期 | 2003.01.01 |
| 申请号 | CN01802620.6 | 申请日期 | 2001.08.24 |
| 申请人 | 捷时雅株式会社 | 发明人 | 西村功;别所信夫;熊野厚司;下川努;山田宪司 |
| 分类号 | G03F7/004;G03F7/36;C08L83/14;C08L101/00;G02B3/00;G02B5/18;G02B6/12;G03H1/02 | 主分类号 | G03F7/004 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 魏金玺;杨丽琴 |
| 主权项 | 1.一种有放射线敏感性的折射率变化性组合物，其特征在于：含有(A)分解性化合物、(B)折射率比分解性化合物(A)低的非分解性化合物、(C)感放射线分解剂及(D)稳定化剂。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||